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              無氧烘箱|12寸晶圓烘箱|MES無氧箱

              產品名稱:無氧烘箱|12寸晶圓烘箱|MES無氧箱

              產品型號:QMO-500

              產品分類:無氧烤箱

              備注說明:

              產品描述:

              無氧烘箱 12寸晶圓烘箱 MES無氧箱

              一.概述:

              無氧化烘箱,在工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……

              二.產品技術參數

              1.名稱及型號:無氧烘箱/烤箱/烘烤箱QMO-500

              2、主要技術指標:

              2.1含氧量:< 20ppm,50ppm,100ppm,含氧量:<=5000ppm;

              2.2溫度范圍: RT(室溫)+60~ +250℃;

              2.3溫度均勻度:±1.5%;

              2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)

              2.5溫控精度:±0.1℃;

              2.6烘箱擱板為活動形式。

              2.7工作尺寸:W800×H800×D800

              2.8電源:380V 3φ 50HZ 8Kw

              3、箱體結構:

              3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統部分組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;

              3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;

              3.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;

              3.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生PARTICLE;

              3.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

              3.6保溫材料:硅酸鋁棉;

              3.7夾層降溫:水冷降溫.(從250度降到60度預計50分鐘內)

              4、可靠的測控系統

              4.1溫控裝置:智能控制系統,日本優易控

              10〃TFT真彩觸摸薄屏

              程式編輯:可預編120個程式,每個程式可編99段,共1200段

              歷史數據查詢(數據可以通過USB接口導出)

              溫度、含氧量曲線可同時顯示

              4.2溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態繼電器

              4.3含氧量分析儀:配國產含氧量分析儀(上海英盛ZO-802)。         

              4.4氮氣系統:N2流量計控制進氣量;入氣口:10mm;排氣口:φ100,位于箱體頂部,排氣可設定時間段。

              5、完善的安全保護措施:漏電斷路器//超溫保護//欠相保護//馬達過載電流保護//機臺異常蜂鳴器警示

              產品參考圖:

              上一個:厭氧烘箱
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